THE VACUUM PUMP
진공 펌프는 밀봉되어 있는 공간을 부분적으로 진공상태로 만들어주기 위해 내부에 있는 기체분자들을 제거하기 위해 사용 되는 장비를 의미한다.
| Rotary Pump | 일반적으로 가장 많이 사용되며, 베인은 스프링 or 원심력에 의하여 실린더 내면에 밀착된 상태로 회전베인이 흡기부를 지나면서 공간의 용적이 점점 커지게 된다. 다음 베인이 흡기부 끝단을 통과할 때 공간 용적이 최대흡기 된 공기는 다음 단계에서 압축배기부를 지나면서 배출. 루츠펌프 및 확산펌프와 연결하여 고진공에 적용 된다. |
|---|---|
| Diffusion Pump | 액체를 가열하여 증발시킨 다음, 이를 노즐을 통하여 고속으로 분사시킴으로써, 이 때 충돌하는 공기 입자를 아래로 끌어내려 보조펌프를 통해 배출하는 방식이다. |
| Turbo Pump | 공기의 입자성에 근거 일정한 각도를 가지고 고속으로 회전하는 많은 날개를 가진 회전자와 그 사이에 있는 고정자를 사용하여 공기의 입자운동에 일정한 방향성을 부여하여 공기를 배출한다. |
| Ion Pump | 진공용기 내부의 기체입자를 이온화하여 티타늄과 같은 활성이 높은 물질에 흡착하여 배기하는 방식이다. |
| Getter Pump | 진공 중에 게터 물질을 가열하면 이 산화막이 게터물질 내부로 확산되어 들어가면서 깨끗한 금속 표면이 게터물질 표면에 노출되며 이때부터 진공 중에 있는 가스분자들을 흡착하면서 게터펌프 작용을 하게 된다. |
| 진공 펌프 목적 | - 진공에 의해 생성되는 물리적 화학적 가공 원리 - 균일한 처리 or 균일성의 향상 - 표면의 청정화 - 반응의 제어 및 반응 챔버 내의 분위기 형성 - 플라즈마 CVD, 플라즈마 에칭, 감압 CVD 장비 등에 적용 |
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| Rotary Pump |
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| 일반적으로 가장 많이 사용되며, 베인은 스프링 or 원심력에 의하여 실린더 내면에 밀착된 상태로 회전베인이 흡기부를 지나면서 공간의 용적이 점점 커지게 된다. 다음 베인이 흡기부 끝단을 통과할 때 공간 용적이 최대흡기 된 공기는 다음 단계에서 압축배기부를 지나면서 배출. 루츠펌프 및 확산펌프와 연결하여 고진공에 적용 된다. |
| Diffusion Pump |
| 액체를 가열하여 증발시킨 다음, 이를 노즐을 통하여 고속으로 분사시킴으로써, 이 때 충돌하는 공기 입자를 아래로 끌어내려 보조펌프를 통해 배출하는 방식이다. |
| Turbo Pump |
| 공기의 입자성에 근거 일정한 각도를 가지고 고속으로 회전하는 많은 날개를 가진 회전자와 그 사이에 있는 고정자를 사용하여 공기의 입자운동에 일정한 방향성을 부여하여 공기를 배출한다. |
| Ion Pump |
| 진공용기 내부의 기체입자를 이온화하여 티타늄과 같은 활성이 높은 물질에 흡착하여 배기하는 방식이다. |
| Getter Pump |
| 진공 중에 게터 물질을 가열하면 이 산화막이 게터물질 내부로 확산되어 들어가면서 깨끗한 금속 표면이 게터물질 표면에 노출되며 이때부터 진공 중에 있는 가스분자들을 흡착하면서 게터펌프 작용을 하게 된다. |
| 진공 펌프 목적 |
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| 진공에 의해 생성되는 물리적 화학적 가공 원리 - 균일한 처리 or 균일성의 향상 - 표면의 청정화 - 반응의 제어 및 반응 챔버 내의 분위기 형성 - 플라즈마 CVD, 플라즈마 에칭, 감압 CVD 장비 등에 적용 |
| Chiller 적용 이미지 | Chiller 적용 Vacuum Pump Range |
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| Chiller 적용 이미지 |
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| Chiller 적용 Vacuum Pump Range |
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High Vacuum & Ultrahigh Vacuum을 구현하기 위하여 다양한 Pump 방식이 적용되며 이 다양한 펌프 방식에서 Motor & Panel에서 많은 열에너지가 발생하게 되는데 이 열에너지를 해소하기 위한 Chiller의 적용이 필수 요소이다. 또한 Vacuum Pump와 같이 Module의 Power Supply에도 동일한 냉각수의 공급이 필요하므로 Chiller의 적용은 필수요소에 포함 된다.
고 진공을 구현하기 위하여 1차 진공이 필요하며 1차 진공 후 2차 고진공를 구현시 다양한 방식의 냉각요소들이 추가 발생하므로 Chiller의 적용이 필요하다. 진공펌프는 극저온으로 판넬에서 모든 기체 분자를 동시에 배기하여 배기속도가 빠르므로 순간 마찰열 및 극저온으로 구성하기 위한 Helium Compressor의 외부 Chiller가 필요하다.
| Chiller For Vacuum Pump | |
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| Vacuum Pump | DS-series |
| DW-series | |
| DSE-series | |
