초정밀도를 구현한 온도제어능력과 강력한 냉각성능
수냉식 일체형인 "DW-series"는 유럽안전인증(CE-Certificated)의 규격을 충실히 적용한 표준화된 Model입니다.
특히, FAB 공정라인에서 주로 운용되는 DW-series는 장기간의 운용에도 안정적인 내구성을 인정받았으며, 각종 공정에서 공정수율 향상에 기여해 온 Model입니다.
또한, EEV(Electric Expansion Valve)를 채택함으로써 더욱 정밀하고 안정적인 운용이 가능하게 되었습니다.
탁월한 안정성과 내구성, 공정수율 향상에 기여하는 DW-series는 FAB 공정라인에 최적화된 제품입니다.
본문
주요특징
| Precision | |
|---|---|
| New Type | Electric Expansion Valve (EEV) |
| Linear Control | 0.01℃ (Temp. Accuracy) |
| Stability | ±0.02℃ (Operation Range) |
| Various application | |
| Laser | Welding, Cutting, Marking, Trimming, Scribing, LLO, ELA |
| Semi | Sputter, E-Beam etc. |
| Precise Analyzer | X-Ray(XRD, XRF), ICP, MASS, SEM, TEM etc. |
| Easy install | |
| Easy carrying & Lock | Locking-Caster, Foot-Master Available |
| Convenient Operation | Easy Visible Level-Gauge, Water Pressure Adjustment, Visible Control-Panel, Compact Heat-Exchanger Applied. |
WIDE OPTION
-
Safety (안전장치)
Temp. High/Low 2Step (Warning, Alarm),
Water-Flow Sensor, Level Sensor (2Step),
Over-Current Trip (Alarm), High-Pressure Trip (Alarm) - Remote (원격시동) 원거리 시그널을 통해 칠러 가동/정지 기능
- Interface (시그널) RS-232, RS-485 etc.
-
Sensors (추가센서)
Flow-Meter (2채널 가능), Leak-Detector,
External Temp. (2차 온도) -
DI-Water (물순도조절)
Conductivity-Meter와 연동하는 DI (De-Ionized)-
Water 순도제어 -
Anti-Freeze (동파방지)
동절기 대기온도 5℃ 이하일 때, 펌프 및 히터 동작
(온도 변경 가능) - Auto-Refill (자동급수) 수위 센서와 연동하여 보충수 자동 제어
-
No-Return (역류방지밸브)
장비의 위치가 칠러보다 높아서 정지 시 역류할 경우
자동 차단 밸브 -
Fluid (특수유체)
Galden, 3M (FC-3283 etc.), Mono-Ethylene
Glycol or PG
응용분야
- Laser레이저 가공기
- Semicon반도체
- The Vacuum Pump진공펌프
- UV자외선
- A Secondary Cell2차 전지
- Lab연구실
- Bio바이오
- RFRF
- Health의료기기
- Mold사출금형
외형도/세부명칭
1Controller(DSC-7)Main Controller Integrated All-Function (Sensor Input/Control Output)
2Main-SwitchEletric Main-Power Cut
3EMOEmergency Off Switch (CE Certificated)
4Water RefillWater Fill in Water Tank
5Water FilterParticle Filter
6PCW Out/InProcess Cooling Water or Cooling Tower Water Inlet/Outlet
7Water PressureSupply Water Pressure to User-Side
8Supply/ReturnSupply to User-Side, Return from User-Side
9RS-232, FaultSignal Interface & Inter-Lock
10Relief ValveRegulating Supply Water Pressure(& Flow Rate) Regulating to User-Side
사양표
| MODEL | DW-5-A6 | DW-7-A6 | DW-10-A6 | DW-15-A6 | DW-20-B6 | DW-30-B6 | DW-50-B6 | DW-75-C6 | DW-100-C6 | DW-150-C6 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 주변환경 Ambient Temperature |
실내 / 실외 : 직사광선, 우천 없는 곳 5℃ ~ 35℃ / Indoor Room or Avoid Direct Sun-Light & Rain |
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| 사용유체(물) Cooling Medium |
청수(0.1~1.0㏁) / DI-Water / Option : FC-3283, Galden Clean Water(0.1~1.0㏁) / DI-Water / Option : FC-3283, Galden |
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| 안전장치 Safety |
온도, 수위, 플로우, 센서, 고/저압, 과전압 = 16종 Temp., Water-Level, Flow, High/Low Pressure, Over-Current = 16 Types |
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| 성능 Capacity |
냉각능력 Cooling Capacity |
㎉ | 1,400 | 1,960 | 2,800 | 4,200 | 5,600 | 8,400 | 14,000 | 21,000 | 28,000 | 42,000 |
| 제어기 / 제어방식 Controller / Control Method |
℃ | DSC-7 EEV(Electric Expansion Valve) Conrol by "Vector Algorithm" Stability ±0.02℃ |
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| 적정유량/적정수압 Water Pressure |
ℓ/min | 8LPM at 3.5bar |
10LPM at 3.5bar |
10LPM at 2.5bar |
15LPM at 3.0bar |
20LPM at 3.5bar |
25LPM at 4.0bar |
35LPM at 4.0bar |
50LPM at 4.0bar |
75LPM at 3.0bar |
100LPM at 3.0bar |
|
| 전원 Elecric |
전압 Voltage |
V(㎐) | 1-Phase, 220±10%(60) Option : 3-Phase, 200±10%(50/60) |
3-Phase, 220±10%(60) Option : 3-Phase, 220±10%(50/60) |
3-Phase, 380±10%(60) Option : 3-Phase, 220±10%(50/60) |
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| 전력 Power |
㎾ | 1.1 | 1.3 | 1.6 | 1.9 | 2.4 | 3.3 | 5.0 | 8.0 | 10.9 | 14.6 | |
| 주요구성 Parts |
냉매 Refrigerant-Gas |
R-22, R-404, R-407, R-410 (Selectable) | ||||||||||
| 팽창변 Expansion Valve |
전자식 팽창변(리니어 타입) EEV(Electric Expansion Valve - Linear Type) |
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| 증발기 Evaporator |
SUS-Plate Cu Brazing Option : All SUS When Use Ultra-DI Water |
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| 응축기 Condenser |
판형열교환기(SUS-Plate Cu Brazing) 15~25℃, 3.5~5.0bar, Clean Water |
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|
수조용량, 재질 Water Tank SUS |
ℓ | 7.4 | 28 | 63 | 112 | |||||||
| 형상 Formation |
외형(W x D x H) Dimension |
㎜ | 450 x 730 x 852 | 505 x 820 x 977 | 565 x 1058 x 1223 | 720 x 1500 x 1600 | ||||||
| 무게 Weight |
㎏ | 80 | 160 | 350 | 600 | |||||||
| 접속구 Hook-Up |
ø㎜ | 15A(1/2") PT Female / PCW is same |
20A(3/4") PT Female / PCW is same |
25A(1") PT Female / PCW is same |
32A(1") PT Female / PCW is same |
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주석사항
- 수냉식은 PCW 20℃ 적정 요구유량이 확보되었을 때의 기준이며 PCW 온도가 높을 경우, PCW 유량을 증가시켜 냉각성능을 유지할 수 있습니다.
- PCW의 수질이 좋지 않을 경우, 별도의 여과장치가 필요하므로 문의하여 주시기 바랍니다.