초정밀도를 구현한 온도제어능력과 강력한 냉각성능
공냉식 일체형인 "DS-series(MINI)"는 실내환경에서 사용장소에 제약이 없는 콤팩트한 사이즈로 저소음 저진동을 구현하면서 각종 산업안전규격에 충실히 적용했으며, SEM XPS 소형 LASER 반도체 공정에서 국부적이고 정밀한 제어가 요구되는 사양에 적합합니다.
특히, 소형이면서 중형장비에서 요구하는 각종 INTERFACE가 가능합니다.
본문
주요특징
| Precision | |
|---|---|
| New Type | Electric Expansion Valve (EEV) |
| Linear Control | 0.1℃/Stability±0.2℃ |
| Stability | ±0.02℃ (Operation Range) |
| Various application | |
| Laser | Welding, Cutting, Marking, Trimming, Scribing, LLO, ELA |
| Semi | Sputter, E-Beam etc. |
| Precise Analyzer | X-Ray(XRD, XRF), ICP, MASS, SEM, TEM etc. |
| Easy install | |
| Easy carrying & Lock | Locking-Caster, Foot-Master Available |
| Convenient Operation | Easy Visible Level-Gauge, Water Pressure Adjustment, Visible Control-Panel, Compact Heat-Exchanger Applied. |
WIDE OPTION
-
Safety (안전장치)
Temp. High/Low 2Step (Warning, Alarm),
Water-Flow Sensor, Level Sensor (2Step),
Over-Current Trip (Alarm), High-Pressure Trip (Alarm) - Remote (원격시동) 원거리 시그널을 통해 칠러 가동/정지 기능
- Interface (시그널) RS-232, RS-485 etc.
-
Sensors (추가센서)
Flow-Meter (2채널 가능), Leak-Detector,
External Temp. (2차 온도) -
DI-Water (물순도조절)
Conductivity-Meter와 연동하는 DI (De-Ionized)-
Water 순도제어 -
Anti-Freeze (동파방지)
동절기 대기온도 5℃ 이하일 때, 펌프 및 히터 동작
(온도 변경 가능) - Auto-Refill (자동급수) 수위 센서와 연동하여 보충수 자동 제어
-
No-Return (역류방지밸브)
장비의 위치가 칠러보다 높아서 정지 시 역류할 경우
자동 차단 밸브 -
Fluid (특수유체)
Galden, 3M (FC-3283 etc.), Mono-Ethylene
Glycol or PG
응용분야
- Laser레이저 가공기
- Semicon반도체
- The Vacuum Pump진공펌프
- UV자외선
- A Secondary Cell2차 전지
- Lab연구실
- Bio바이오
- RFRF
- Health의료기기
- Mold사출금형
외형도/세부명칭
DS-3
1Controller(DSC-7)Main Controller Integrated All-Function (Sensor Input/Control Output)
2Main-SwitchEletric Main-Power Cut
3Water LevelCheck The Current Water Level of The Reservoir
4Water RefillWater Fill in Water Tank
5Water FilterParticle Filter
6Air InletProcess Cooling Water or Cooling Tower Water Inlet/Outlet
7Water PressureSupply Water Pressure to User-Side
8Supply/ReturnSupply to User-Side, Return from User-Side
9RS-232, FaultSignal Interface & Inter-Lock
10Relief ValveRegulating Supply Water Pressure(& Flow Rate) Regulating to User-Side
사양표
| MODEL | DS-2 | DS-3 | DS-5 | DS-7 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 주변환경 Ambient Temperature |
실내 5℃ ~ 35℃ / Indoor Only |
|||||
| 사용유체(물) Cooling Medium |
청수(0.1~1.0㏁) / DI-Water Option 협의요망 Clean Water(1~10µS) / Contact Us for DI-Water |
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| 안전장치 Safety |
온도, 수위, 플로우, 센서 = 7종 Temp., Water-Level, Flow, Sensor = 7 Types |
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| 성능 Capacity |
냉각능력 Cooling Capacity |
㎉ | 600 | 860 | 1,400 | 1,700 |
| 제어기 / 제어방식 Controller / Control Method |
℃ | DSC-6 / PID 핫가스바이패스 제어 PID Hot-Gas Bypass / ±0.1~0.3℃ |
||||
| 적정유량/적정수압 Water Pressure |
ℓ/min | 2LPM at 1.0bar | 3LPM at 1.0bar | 8LPM at 3.5bar | 10LPM at 3.5bar | |
| 전원 Elecric |
전압 Voltage |
V(㎐) | 1-Phase, 220±10%(60) Option : 1-Phase, 220±10%(50/60) |
|||
| 전력 Power |
㎾ | 0.5 | 0.7 | 1.1 | 1.3 | |
| 주요구성 Parts |
냉매 Refrigerant-Gas |
R-22, R-134, R-404, R-407, R-410 (Selectable) | ||||
| 팽창변 Expansion Valve |
온도감응형 팽창변 / 모세관 Temperature Expansion Valve / Capillary Tube |
|||||
| 증발기 Evaporator |
High Effective Cooling Coil Type | |||||
| 응축기 Condenser |
공냉식 컨덴셔 Air-Cooled Condenser Pin & Tube Type |
|||||
|
수조용량, 재질 Water Tank SUS |
ℓ | 6.6 | 7.4 | |||
| 형상 Formation |
외형(W x D x H) Dimension |
㎜ | 350 x 560 x 606 (6U) | 450 x 730 x 852 (12U) | ||
| 무게 Weight |
㎏ | 50 | 80 | |||
| 접속구 Hook-Up |
ø㎜ | 15A(1/2") PT Female | ||||
